無(wú)塵潔凈室技術(shù)應用

　　無(wú)塵潔凈室的氣流速度/換氣次數，一直是潔凈室設計中受到關(guān)注的題目，跟著(zhù)潔凈室污染源的控制效果增加及末級過(guò)濾器效率的進(jìn)步等，對有關(guān)規范、導則等提 出的推薦或參考值是否偏于守舊，已有不少討論;FFU在應用中人們擔心的噪音、損壞維修等題目已在實(shí)踐中得到解決，跟著(zhù)FFU的精益求精，對是否采用 FFU回風(fēng)系統也是個(gè)熱門(mén)：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC產(chǎn)業(yè)中已日益提到日程上來(lái)，受到關(guān)注。

　　無(wú)塵潔凈室內一定潔凈度下氣流速度的確定，隨潔凈室用途等詳細情況而異，它不僅受室內發(fā)塵量及過(guò)濾器效率還受其他因素影響，就產(chǎn)業(yè)潔凈室而言，影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是：

　　(1)室內污染源：建筑物組件、職員數目及操縱流動(dòng)、工藝設備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒開(kāi)釋源，根據詳細情況而異，變化很大;

　　(2)室內氣流流型及分布：?jiǎn)蜗蛄饕笃骄?、同等的流線(xiàn)，但會(huì )受到工藝設備布置和位置變動(dòng)及職員流動(dòng)情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層。以下對這些題目的情況分別作歸納和分析。